白光干涉仪主要用于测量微观表面的形貌、粗糙度、台阶高度等参数。

1. 表面形貌测量

原理：白光干涉仪利用白光的干涉特性。当两束相干光（一束参考光和一束从被测表面反射回来的光）叠加时，会形成干涉条纹。通过分析这些干涉条纹的形状和位置，可以获取被测表面的高度信息。因为不同位置的表面高度不同，反射光的光程差也不同，从而导致干涉条纹的变化。

应用场景：在精密机械加工领域，例如汽车发动机的零部件表面，如活塞、曲轴等。这些部件的表面质量对发动机的性能和寿命有重要影响。白光干涉仪可以精确测量其表面形貌，确保加工精度达到设计要求。在光学元件制造中，比如高精度的透镜、反射镜等，需要对其表面进行精确的形貌测量，以保证光学性能。

2. 表面粗糙度测量

原理：表面粗糙度是指加工表面具有的较小间距和微小峰谷的不平度。白光干涉仪通过测量微观表面的高度变化来量化粗糙度。它可以在小范围内获取大量的高度数据点，然后根据这些数据计算出粗糙度参数，如Ra（算术平均粗糙度）、Rz（微观不平度十点高度）等。

应用场景：在模具制造行业，模具表面的粗糙度直接影响塑料制品的表面质量。使用白光干涉仪可以对模具表面进行粗糙度测量，确保模具达到所需的表面光洁度。在电子芯片制造中，芯片的封装表面粗糙度也很重要，合适的粗糙度有助于芯片散热和电气性能的稳定，白光干涉仪可以为其提供精确的粗糙度测量。

3. 台阶高度测量

原理：当被测表面存在台阶结构时，白光干涉仪可以通过测量台阶两侧的高度差来确定台阶高度。干涉条纹在台阶处会出现明显的变化，通过对条纹的分析和计算可以得到台阶的精确高度。

应用场景：在半导体制造过程中，芯片上的不同功能区域之间可能存在台阶结构，例如金属布线层与有源区之间的台阶。准确测量这些台阶高度对于后续的光刻、刻蚀等工艺的精度控制非常关键。在微机电系统（MEMS）制造中，也经常需要测量微小结构的台阶高度，以保证MEMS器件的性能和可靠性。

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